基于自适应噪声抵消的CZ单晶炉炉膛温度信号处理
梁炎明
刘丁
赵跃
1.西安理工大学,自动化与信息工程学院,陕西西安,7100482.西安理工大学,自动化与信息工程学院,陕西西安,7100483.西安理工大学,自动化与信息工程学院,陕西西安,710048
摘要：为滤除CZ单晶炉炉膛温度信号在单晶生长过程中存在的低频干扰,提出一种基于噪声抵消技术的滤波方法.首先利用傅立叶级数构造出低频干扰的逼近信号,然后根据炉温信号的缓变特征建立能够获取低频干扰逼近信号的抵消器误差函数,最后利用一种改进的粒子群优化算法优化误差函数获得低频干扰的逼近信号,并用该逼近信号抵消低频干扰.实验结果表明,所提出的自适应噪声抵消滤波算法能够有效滤除CZ单晶炉炉膛温度信号中的低频干扰,并优于常用的滤波方法.
关键词：CZ单晶炉炉膛温度信号低频干扰滤波傅立叶级数自适应噪声抵消粒子群优化
分类号：TP14(自动化基础理论)TG232.5(铸造)
资助基金：国家科技重大专项资助项目(2009ZX02011001)
论文发表日期：2011-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：7( 94-100 )
英文信息