扫描探针显微镜的控制技术综述
彭超
徐红兵
张健
1.电子科技大学,自动化工程学院,四川,成都,6117312.电子科技大学,自动化工程学院,四川,成都,6117313.电子科技大学,自动化工程学院,四川,成都,611731
摘要：扫描探针显微镜(SPM)具有高精度成像、纳米操纵等功能,是纳米科技、生命科学、材料科学和微电子等科学研究的重要工具.随着科学技术的发展,科学家和工程师们对科研工具SPM的性能也提出越来越高的要求.SPM控制技术作为提高SPM性能的关键技术之一,已经得到广泛的关注和研究.本文首先介绍SPM系统以及两种常用的SPM,讨论SPM扫描器(即压电驱动器)的特性及其数学模型;然后详细总结了SPM水平方向和竖直方向的控制技术,并且对扫描探针显微镜多输入多输出(SPM MIMO)控制技术进行了探讨;最后总结了SPM控制技术研究现状及其所面临的问题.
关键词：扫描探针显微镜压电驱动器迟滞迭代学习控制二自由度(2DOF)控制
分类号：TP273(自动化技术及设备)
资助基金：国家自然科学基金(60972107)
论文发表日期：2011-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：9( 285-293 )
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