晶圆扫描光刻系统的有效非因果学习控制
陈兴林1
姜晓明1
王程2
1.哈尔滨工业大学航天学院,黑龙江哈尔滨,1500012.上海机电工程研究所,上海,200233
摘要：本文提出一种有效非因果学习控制方法,用于晶圆扫描光刻系统.该方法不依赖于精确的系统建模,通过引入时间延迟因子对迭代控制系统的收敛条件进行初步整形.然后选取零相位滤波器来进行二次整形,得到收敛的非因果迭代学习控制律.根据系统的闭环特性,进一步给出延迟因子的参考设计方法和滤波器的选取原则,并对收敛性进行了分析.此外,为提高系统的扫描性能,引入有效学习函数来克服传统学习控制方法的学习盲目性,增强对关键性能指标的学习能力.最后采用模拟的晶圆扫描光刻系统来进行仿真和实验,以验证方法的有效性.
关键词：晶圆扫描光刻系统学习控制扫描时间延迟有效学习函数
分类号：TP273(自动化技术及设备)
资助基金：国家自然科学基金(61174037)国家科技重大专项(2009ZX02207)
论文发表日期：2013-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：7( 1258-1264 )
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