一种检测单晶炉热场温度的新方法
张新雨
刘丁
汪姣
李琦
1.西安理工大学自动化与信息工程学院,陕西西安,7100482.西安理工大学自动化与信息工程学院,陕西西安,7100483.西安理工大学自动化与信息工程学院,陕西西安,7100484.西安理工大学自动化与信息工程学院,陕西西安,710048
摘要：为去除单晶炉热场温度测量信号中的低频干扰、提高温度信号的估计精度,本文提出了一种基于跨维模拟退火(trans dimensional simulated annealing,TDSA)的单晶炉热场温度检测方法.该方法首先将AIC(Akaike information criterion)信号个数判断准则纳入采样机制中以便对干扰个数采样估计,进而利用所设计的基于信号频谱和轮盘赌思想的Metropolis Hastings机制对相应个数的干扰频率进行采样,最后设计了混合均匀和高斯采样机制对单晶炉热场温度进行采样估计.仿真和单晶炉工程实验结果表明,该方法在干扰个数未知的情况下,能够有效地抑制低频干扰、准确检测单晶炉热场的温度.
关键词：单晶炉热场温度检测低频干扰跨维模拟退火最大似然准则AIC准则最小二乘法
分类号：TP14(自动化基础理论)TP202+.2(自动化技术及设备)
资助基金：国家科技重大专项(2009ZX02011001)国家自然科学基金(61075044)高等学校博士学科点专项科研基金(优先发展领域)(20136118130001)
论文发表日期：2014-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：8( 1310-1317 )
英文信息