超精密伺服系统控制与应用
闫鹏1
张震2
郭雷3
刘鹏博4
1.北京航空航天大学自动化科学与电气工程学院,北京100191;山东大学机械工程学院高效洁净机械制造教育部重点实验室,山东济南2500612.清华大学机械工程系;精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室,北京1000843.北京航空航天大学自动化科学与电气工程学院,北京,1001914.山东大学机械工程学院高效洁净机械制造教育部重点实验室,山东济南,250061
摘要：随着智能微纳器件和高性能数字系统的飞速发展,超精密伺服技术已逐步成为信息存储、精密成像、半导体装备等新兴行业的核心技术.本文从微纳操控领域的设计和控制问题着手,首先介绍了超精密伺服系统的设计及分析方法,进而阐述了超精密伺服系统对控制理论提出的诸多挑战.特别针对这类系统中广泛存在的模型不确定性及高阶未建模动态特性,非线性迟滞特性及执行机构饱和非线性,多源复杂干扰并存情况的抗干扰控制问题,以及面向复杂轨迹的高精度跟踪控制问题,给出了具有代表性的控制算法和应用实例.本文最后以高精度直写式真空蒸发系统为例,介绍了超精密伺服技术在现代精密仪器设备中的重要应用.
关键词：超精密伺服系统微纳操控鲁棒控制抗干扰控制内模控制
分类号：TP273(自动化技术及设备)
资助基金：国家自然科学基金(61327003,61004004)中央高校基本科研业务费专项(10062014YWF-14-ZDHXY-018)高等学校博士学科点专项科研基金(20100002120043)教育部留学回国人员科研启动基金(20121028120)
论文发表日期：2014-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：14( 1338-1351 )
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