晶圆重入加工的组合设备终止暂态的调度与分析
潘春荣
黎良
1.江西理工大学机电工程学院,江西赣州,3410002.江西理工大学机电工程学院,江西赣州,341000
摘要：晶圆重入是半导体组合设备加工中典型的复杂加工工艺,分析和优化暂态加工过程对于晶圆重入加工具有重要意义.为了满足加工需求和提高组合设备的加工性能,基于稳态重入加工的双臂组合设备Petri网模型和1-晶圆周期调度策略,采用虚拟晶圆的加工模式分析了系统的终止暂态过程,讨论了系统终止暂态的加工时间分布,并给出相应的解析式进行描述.利用eM-Plant仿真平台建立了重入加工的双臂组合设备终止暂态的仿真模型,并用例子验证了1-晶圆周期调度的可行性及解析式的有效性,为研究晶圆重入加工过程的优化提供了有效方法和手段.
关键词：晶圆制造组合设备重入加工Petri网建模调度仿真
分类号：TP278(自动化技术及设备)TP391.9(计算技术、计算机技术)
资助基金：国家自然科学基金项目(71361014)Supported by Natural Science Foundation of China (71361014)
论文发表日期：2015-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：10( 655-664 )
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