基于扩散K近邻距离的间歇过程故障诊断
李元1
刘亚东1
张成2
1.沈阳化工大学技术过程故障诊断与安全性研究中心,辽宁沈阳,1101422.沈阳化工大学技术过程故障诊断与安全性研究中心,辽宁沈阳,110142;东北大学信息科学与技术学院,辽宁沈阳,110819
摘要：针对间歇过程多模态、变量非线性、非高斯分布等特征,提出一种基于扩散K近邻距离的故障诊断方法.该方法首先在样本集完全图中应用马尔科夫随机游走定义带有分量权重的扩散距离,可以有效提取数据样本的关联信息和统计特征,然后应用K近邻规则方法对样本数据进行故障诊断.这种应用扩散距离替换传统K近邻规则欧式距离的统计方法,既可以提升对数据样本关联性信息的有效提取能力,又可以使得K近邻规则处理非线性、多模态检测问题的性能得以保持.通过在半导体蚀刻批次过程中的仿真应用,与传统线性、非线性方法的对比分析,实验结果验证了方法的有效性.
关键词：扩散距离K近邻规则故障诊断间歇过程
分类号：TP277(自动化技术及设备)
论文发表日期：2015-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：7( 1653-1659 )
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