测量时延在线估计与批间控制器协同设计
万莉
谭斐
潘天红
1.江苏大学电气信息工程学院,江苏镇江,2120132.江苏大学电气信息工程学院,江苏镇江,2120133.江苏大学电气信息工程学院,江苏镇江,212013
摘要：批间控制是半导体批次生产过程中常用算法,其关键问题在于能够及时获取上一批次的制程输出,受测量手段及其成本限制,实际的生产制程很难满足这一要求.为此,本文提出一种基于贝叶斯统计分析的测量时延估计算法.在分析晶圆质量与实测时延、估计时延、以及制程漂移之间的逻辑关系的基础上,并将晶圆的质量信息按加工时间顺序划分两个相邻的滚动时间窗口.基于贝叶斯后验概率函数,及时捕获后一个滚动时间窗口内过程输出发生漂移的概率,从而判断是否有测量时延发生,并估算该时延大小.在此基础上,给出批间控制器的测量时延补偿策略,及时调整制程的控制量,提高晶圆的加工品质.仿真结果验证所提出算法的有效性.
关键词：批间控制双指数加权滑动平均时延贝叶斯理论
分类号：TP273(自动化技术及设备)
资助基金：国家自然科学基金(61273142)江苏省六大人才高峰(2012-DZXX-045)National Natural Science Foundation of China(61273142)Foundation for Six Talents by Jiangsu Province(2012-DZXX-045)
论文发表日期：2016-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：6( 92-97 )
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