具有多品种晶圆混合加工的单臂组合设备调度
潘春荣
王际鹏
1.江西理工大学机电工程学院,江西赣州,3410002.江西理工大学机电工程学院,江西赣州,341000
摘要：为了提高晶圆制造中组合设备的生产效率，在考虑晶圆驻留时间约束条件下，研究没有共享加工模块的多品种晶圆混合加工的单臂组合设备调度问题。首先，采用面向资源的Petri网模型描述多种晶圆产品的混合加工过程，引入控制变迁避免模型的死锁，采用赋时库所和赋时变迁模拟系统资源的活动时间。其次，通过虚拟加工的方法平衡工序的负载，基于系统Petri网模型和拉式调度策略，推导出单臂组合设备在多品种晶圆混合加工情形下的可调度性判定条件，并以解析形式描述。最后，提出了系统稳态调度求解算法并以实例验证了算法的有效性和可行性。
关键词：组合设备Petri网混合加工调度晶圆制造
分类号：TP305(计算技术、计算机技术)
资助基金：国家自然科学基金(71361014,51665018)江西省教育厅项目(GJJ150673)
论文发表日期：2016-08-31
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：11( 1171-1181 )
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