压电定位系统的自抗扰控制设计
魏伟1
李东海2
左敏1
刘载文1
1.北京工商大学计算机与信息工程学院,北京,1000482.清华大学热能工程系,北京,100084
摘要：纳米定位系统中广泛采用的压电驱动器因存在非线性、多映射的迟滞特性而严重影响了纳米定位系统的定位精度。为消除迟滞对定位精度的影响，将其视为干扰，设计不基于迟滞及定位系统精确数学模型的自抗扰控制算法，利用扩张状态观测器实时估计迟滞，进而补偿其对定位精度的影响，获得了良好的定位系统控制仿真效果。仿真结果表明，自抗扰控制器能够有效消除迟滞、提高纳米定位系统的定位精度。
关键词：压电驱动迟滞纳米定位自抗扰定位精度
分类号：TP273(自动化技术及设备)
资助基金：国家自然科学基金(61403006)科技创新平台项目(19008001232)青年拔尖人才培育项目(CIT&TCD201404029)北京市教委面上项目(KM201410011005)
论文发表日期：2016-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：8( 1319-1326 )
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