含随机测量时延的批间控制器设计
王海燕
潘天红
谭斐
高占涛
1.江苏大学电气信息工程学院,江苏镇江,2120132.江苏大学电气信息工程学院,江苏镇江,2120133.江苏大学电气信息工程学院,江苏镇江,2120134.江苏大学电气信息工程学院,江苏镇江,212013
摘要：批间控制(RtR)是半导体晶圆生产过程控制的有效算法.然而,受测量手段与测量成本的限制,难以实时检测晶圆的品质数据,即:存在一定的测量时延,通常该测量时延是随机,时变的,且直接影响批间控制器的性能.为此,本文基于指数加权移动平均(EWMA)算法,提出一种含随机测量时延的扰动估计方法.在分析测量概率的基础上,建立包含测量时延概率的扰动估计表达式;并采用期望最大化(EM)算法估计该测量时延的概率;然后分析系统可能存在的静差项,给出相应的补偿算法;最后讨论系统的稳定性.仿真实例验证所提算法的有效性.
关键词：批间控制测量时延EWMA算法EM算法
分类号：TP273(自动化技术及设备)
资助基金：国家自然科学基金项目(61273142)江苏省六大人才高峰项目(2012–DZXX–045)Supported by the National Natural Science Foundation of China(61273142)the Foundation for Six Talents by Jiangsu Province(2012–DZXX–045)
论文发表日期：2018-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：8( 531-538 )
英文信息