基于局部保持嵌入-K近邻比率密度的半导体蚀刻过程故障诊断策略
张成
郑百顺
郭青秀
冯立伟
李元
1.沈阳化工大学技术过程故障诊断与安全性研究中心,辽宁沈阳1101422.沈阳化工大学技术过程故障诊断与安全性研究中心,辽宁沈阳1101423.沈阳化工大学技术过程故障诊断与安全性研究中心,辽宁沈阳1101424.沈阳化工大学技术过程故障诊断与安全性研究中心,辽宁沈阳1101425.沈阳化工大学技术过程故障诊断与安全性研究中心,辽宁沈阳110142
摘要：针对多模态间歇过程存在数据维度高且方差差异较大的特征,提出一种基于局部保持嵌入-K近邻比率密度(NPE-K RD)规则的故障检测方法.首先,利用局部保持嵌入(NPE)方法将原始的高维数据投影到低维空间;其次,在低维空间通过计算样本的密度及其前K近邻密度的均值来建立K近邻比率密度(K RD);最后,根据核密度估计法确定统计量控制限并进行故障诊断.NPE方法既能够在低维空间保持数据局部近邻结构,又能够降低故障检测过程的计算复杂度.通过引入比率密度,NPE-K RD可以降低多模态方差结构差异对故障检测的影响,提高过程故障检测率.通过数值例子和半导体工业过程的仿真实验,并与主元分析、K近邻、局部保持嵌入等方法进行比较,验证了本文方法的有效性.
关键词：局部保持嵌入K近邻比率密度半导体蚀刻过程故障诊断多工况
资助基金：国家自然科学基金(61490701)国家自然科学基金(61673279)辽宁省自然科学基金(2019-MS-262)辽宁省教育厅项目(LJ2019013)
论文发表日期：2020-06-28
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：7( 1342-1348 )
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