具有清洗工艺的单臂组合设备终止暂态调度
潘春荣
郭文有
江西理工大学机电工程学院,江西赣州341000
摘要：随着多品种小批量生产模式的普及,导致了组合设备频繁的暂态加工过程.为了提高组合设备的生产柔性,同时考虑晶圆驻留时间约束和腔室清洗时间约束,研究了单臂组合设备的终止暂态调度问题.首先,提出了1-周期清洗工艺的暂态调度规则,并采用了面向资源的Petri网对单臂组合设备的终止暂态过程进行建模,引入避免死锁的变迁触发规则;其次,根据系统的终止暂态时间特性并考虑不同的调度情形,建立了终止暂态调度的线性规划模型;最后,通过实例验证了该方法的可行性.实验结果表明,与运用改进拉式策略的虚拟晶圆方案相比,该调度方案可有效地减少组合设备终止暂态的完工时间,并满足晶圆制造的工艺要求.
关键词：晶圆制造组合设备Petri网清洗工艺终止暂态
资助基金：国家自然科学基金(51665018)
论文发表日期：2021-06-28
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：11( 784-794 )
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