低温光化学生长金属钯薄膜研究
尹静1
别利剑2
1.临沂粮食学校基础部,山东,临沂,2760052.临沂师范学院,化学系
摘要：报道了新一代紫外光源--激发态双分子(Excimer)紫外光源在制备金属薄膜材料方面的应用研究.金属钯是一种优良的催化剂,首先在各种衬底如Al2O3、AIN、玻璃以及聚合物等上面淀积钯的金属有机化合物薄膜,通过紫外光分解钯的金属有机化合物,形成数埃到几十埃的钯膜,然后再利用钯的催化效应,在无电极电镀液中淀积出几十纳米到几微米厚的各种金属薄膜(如Cu、Au、Ni等).
关键词：准分子紫外光源金属膜淀积无电极电镀
分类号：O643(物理化学（理论化学）、化学物理学)
论文发表日期：2001-01-01
在线出版日期：2026-08-28（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 44-47 )
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