激光分子束外延制备薄膜技术
徐东然1
马葆基2
肖效光1
王长征1
1.聊城大学,物理科学与信息工程学院,山东,聊城,2520592.荷泽学院,山东,荷泽,274015
摘要：激光分子束外延制备薄膜是在传统分子束外延和普通激光淀积技术基础上发展起来的,以原子层、原胞层尺度研制薄膜的技术和方法.简要介绍了激光分子束外延的装置和工作原理、特点与优势及其研究内容,并对其应用前景进行了展望.
关键词：激光分子束外延多层膜超晶格
分类号：O484.1(固体物理学)
资助基金：国家高技术研究发展计划（863计划）(2004AA32G090)
论文发表日期：2006-01-01
在线出版日期：2026-08-28（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 36-39 )
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