生长条件对TiO2薄膜结构及光学性能的影响
张风明1
王文爱2
1.聊城职业技术学院工程学院,山东聊城,2520002.聊城市阳谷县第三职业高级中学,山东阳谷,252323
摘要：为了研究TiO2薄膜的生长机制及结构对其带隙的影响,采用激光脉冲沉积方法在超高真空下制备了TiO2薄膜.X射线衍射结果显示在不同温度和不同缓冲层上生长的TiO2薄膜以板钛矿结构为主,缓冲层对薄膜结构影响不大,高的生长温度提高了薄膜的结晶度.透射谱的结果表明,随着生长温度和生长气压的升高,TiO2的带隙逐渐增大,在生长ZnO做为缓冲层后,TiO2薄膜的结晶度降低,随ZnO结晶度的提高,TiO2对复合薄膜带隙的影响消失.
关键词：TiO2薄膜激光脉冲沉积带隙
分类号：O433(光学)
资助基金：山东省科技攻关计划(2010GGX10127)
论文发表日期：2014-01-01
在线出版日期：2026-08-28（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：3( 68-70 )
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