基于二维光栅的四通道完全垂直光学接口
张赞允1
程倩2
刘宏伟1
李鸿强1
1.天津工业大学 电子与信息工程学院,天津 西青 300387;天津工业大学天津市光电检测技术与系统重点实验室,天津 西青 3003872.天津工业大学 电子与信息工程学院,天津 西青 300387
摘要：作为单模光纤与硅基光电子芯片之间的光耦合接口,光栅耦合器具有强对准容差能力、可随意放置以及晶圆级测试能力等一系列优点,因此被广泛应用于硅基光耦合和光封装.然而为了减小二次反射,传统光栅耦合器通常设计为具有一定光耦合倾角,这个耦合倾角会给测试和封装带来不便.完全垂直光栅耦合器可以避免在光学封装中用到昂贵的角度抛光工艺,这个优点使得它们在多核芯光纤和光纤阵列的耦合应用中非常具有吸引力.本文提出并实验验证了一种基于二维光栅和四通道波导设计的完全垂直光耦合接口,器件仿真耦合效率最高可达54%,耦合中心波长在1555nm附近,向上的光反射损耗为14%(-8.5dB).为了实验验证器件功能,我们基于CMOS兼容工艺对器件进行了加工制造,器件光学输入为四通道垂直耦合二维光栅,通过两个1×2MMI光学合束器将四个通道合为两输出通道并通过光栅耦合器输出.器件实验测试结果显示器件总耦合效率可达40%(单端输出耦合损耗为-7dB),同时我们还测试了具有臂长差的器件,光谱呈现出较强的干涉波形,这说明器件具有类马赫曾德干涉仪的性质,有望在电光调制和光学滤波等领域获得应用.
关键词：光互连光子集成技术二维光栅耦合器
分类号：TN256(光电子技术、激光技术)
资助基金：国家自然科学基金(61675154)天津市自然科学基金青年项目(18JCQNJC01800)
论文发表日期：2020-04-28
在线出版日期：2026-08-28（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：7( 28-34 )
英文信息