基于飞秒激光刻写的微腔型波导马赫-曾德干涉器及其折射率传感性能研究
徐堃
玄成聪
张燕青
姚一村
解艳茹
聊城大学物理科学与信息工程学院,山东聊城 252059
摘要：平面光波导传感器相较于传统的光纤传感器结构,具有更好的机械性能,并且对于振动等因素具有更低的交叉响应,因此在光传感领域具有独特优势.在本研究中,我们利用飞秒激光刻写及激光辅助化学刻蚀技术,在石英玻璃中制备了微腔型波导传感器结构,该结构由对称的分支型波导马赫-曾德干涉器及在其中一路上所制备的光学微腔构成.当待测液体浸入微腔时,传感器呈现明显的干涉峰漂移,其折射率灵敏度在1.35折射率附近达到了约16 311.8 nm/RIU,因此在高灵敏度的波导液体传感及生化传感领域展现出了显著的应用潜力.
关键词：平面波导飞秒激光微加工微腔传感器马赫-曾德干涉仪
分类号：TN814(无线电设备、电信设备)
资助基金：山东省自然科学基金项目(ZR2020F086)聊城大学博士科研基金项目(318052168)
论文发表日期：2024-10-28
在线出版日期：2026-08-28（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：8( 76-83 )
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