具有新型低损耗电极PIN光探测器的研究
位健1
牛慧娟2
陈庆涛3
李沅昊1
刘凯4
段晓峰4
黄永清4
1.聊城大学物理科学与信息工程学院,山东聊城 2520592.聊城大学物理科学与信息工程学院,山东聊城 252059;聊城大学山东省光通信科学与技术重点实验室,山东聊城 2520593.蒙特利尔综合理工学院电气工程系,Poly-Grames研究中心,加拿大蒙特利尔H3T 1J44.北京邮电大学信息光子学与光通信国家重点实验室,北京 100876
摘要：基于一种具有微孔-槽结构的PIN光探测器结构,设计了一种低损耗电极并与之进行联合优化.该方法不但为制备低损耗电极提供了有效的解决方案,还进一步提升了光探测器的3 dB带宽.首先,通过优化电极衬底与厚度、引入绝缘层、增加金属材料以及在衬底中加入矩形槽结构等方式,设计了一款新型低损耗的光探测器电极,降传输损耗降至-1.15 dB.然后,将新型电极与PIN光探测器的等效电路进行联合设计优化.结果表明,与未使用该新型电极相比,光探测器的3 dB带宽提升了近32％.该新型电极的设计可以为不同结构及不同波段光探测器的性能改进提供参考.
关键词：光探测器低损耗电极联合优化3 dB带宽传输损耗
分类号：TN929.1(无线通信)TN15(真空电子技术)
资助基金：国家自然科学基金(62374020)山东省自然科学基金(ZR2022MF305,ZR2022MF253,ZR2021MF053,ZR2021MF070)信息光子学与光通信国家重点实验室(北京邮电大学)开放基金项目(IPOC2021B07)山东省高校青年引进与培养计划(2022TSGC2570)教育部卓越工程师教育培养计划项目产学合作协同育人项目(220605160271242,221002802140950,220906093200103)
论文发表日期：2025-02-27
在线出版日期：2026-08-28（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：11( 23-33 )
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