稀薄气体流动特点及研究现状分析
罗建斌
徐斌
薛宏
吴建
1.河南科技大学,车辆与动力工程学院,河南,洛阳,4710032.河南科技大学,车辆与动力工程学院,河南,洛阳,4710033.河南科技大学,车辆与动力工程学院,河南,洛阳,4710034.河南科技大学,车辆与动力工程学院,河南,洛阳,471003
摘要：随着航空航天技术以及微电子机械系统(MEMS)的发展和广泛应用,稀薄气体流动的研究越来越被重视.稀薄气体流动中涉及到稀薄效应问题,在传统流体力学中可忽略的一些影响因素,比如表面力,面容比,梯度参数效应等变得重要起来.由于尺度效应、表面效应等因素的影响,稀薄气体流动表现出自己的特点:流动涉及的表面积与体积之比增强、梯度参数效应,表面效应,流体极性等.针对微电子机械系统,对稀薄气体流动的研究现状进行了综述,并对其特点进行了分析.
关键词：航空航天技术微电子机械系统稀薄效应稀薄气体
分类号：V211.25(基础理论及试验)
论文发表日期：2005-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 22-26 )
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