金刚石纳米粉引晶方法制备金刚石薄膜方法
陈庆东1
杨传径1
王辉1
刘才龙2
1.河南科技大学,物理与工程学院,河南,洛阳,4710032.吉林大学,超硬材料国家重点实验室,吉林,长春,130012
摘要：利用金刚石纳米粉引晶法和常规研磨方法分别在单晶硅衬底上制备金刚石薄膜,并采用扫描电镜、激光拉曼方法对所制备样品进行表征,通过SEM和拉曼谱分析,与研磨法生长金刚石薄膜相比,利用金刚石纳米粉引晶方法可以大大提高金刚石薄膜的成核速度,生长速率达到2 μm/h以上.对相同碳源浓度下生长的金刚石薄膜样品的SEM和拉曼谱分析,采用引晶法生长的金刚石薄膜质量明显高于研磨法.
关键词：金刚石纳米粉金刚石薄膜热丝CVD研磨法纳米引晶
分类号：TB43(工业通用技术与设备)
资助基金：国家自然科学基金(40473034)
论文发表日期：2010-03-02
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 16-19 )
英文信息