射频微机电并联电容式开关的参数性能分析
甄可龙1
吕善伟1
张岩1
黄广君2
1.北京航空航天大学电子信息工程学院,北京,1001912.河南科技大学电子信息工程学院,河南洛阳,471003
摘要：射频微电子机械系统RF MEMS开关的高隔离度与低插入损耗特性,同开关自身的结构参数密切相关.为了得到更好的开关性能,在设计过程中有必要对射频MEMS开关的相关参数进行优化.本文用ADS和HFSS仿真设计软件,对射频MEMS并联电容式开关的微波特性进行了分析和仿真,研究了MEMS开关的等效电路参数和结构参数的变化对RF MEMS开关微波特性的影响.仿真结果表明:等效电容参数和MEMS开关桥宽度是影响开关性能的关键参数,当开关的等效电容参数增加20pF,或MEMS桥的宽度增加40 μm时,RF MEMS开关的插入损耗则可能增加10 dB以上.
关键词：RF MEMS开关插损隔离度共面波导
分类号：TN63(电子元件、组件)
资助基金：国家高技术研究发展计划（863计划）(863;2008AA12A216)国家自然科学基金(60901001)
论文发表日期：2011-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 25-29 )
英文信息