退火气氛对SrTiO3薄膜电学性能的影响
王晓飞1
胡秋波2
1.河南科技大学物理与工程学院,河南洛阳,4710032.洛阳理工学院数理部,河南洛阳,471023
摘要：在不同的退火气氛下,采用金属有机物分解法在(111) Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了SrTiO3薄膜材料,并对其结构和电学性能进行了研究.X射线衍射结果显示SrTiO3薄膜都呈现多晶立方钙钛矿结构.对比不同气氛下制备出的SrTiO3样品电学测量结果,发现在氧气氛中退火后,样品具有较低的漏电流和较好的介电性能,这可能是由于氧气氛中退火减少了SrTiO3薄膜内氧空位的浓度引起的.
关键词：SrTiO3漏电流介电常数介电损耗
分类号：O484.4(固体物理学)
资助基金：河南科技大学博士科研启动基金(50972056)
论文发表日期：2011-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：3( 5-7 )