新型Ta3N5半导体薄膜电极的制备及其光电转化性能
崔贝磊
卢伟伟
张军
1.河南科技大学 化工与制药学院,河南洛阳,4710232.河南科技大学 化工与制药学院,河南洛阳,4710233.河南科技大学 化工与制药学院,河南洛阳,471023
摘要：采用阳极氧化-高温氮化工艺制备了Ta3N5薄膜电极,通过场发射扫描电子显微镜成像、X射线衍射和X射线光电子能谱,分别对电极的断面形貌、晶型结构和表面物质组成进行了分析.通过紫外-可见光谱和电化学阻抗方法对所制备的Ta3N5薄膜电极的能带结构进行了表征.对Ta3N5薄膜的光电转化性能进行了研究.研究结果表明:所制得的Ta3N5薄膜晶型为单斜晶系结构,薄膜平均厚度为10 μm且呈现出多孔层状结构,其禁带宽度为2.08 eV,平带电位相对于可逆氢电极为-0.18 V.施加相对于可逆氢电极1.23 V的电势时,其光电流密度可以达到640 μA/cm2,表现出良好的光电转化性能.
关键词：阳极氧化氮化Ta3N5薄膜光电转化性能
分类号：TQ13(金属元素的无机化合物化学工业)
资助基金：国家自然科学基金(21673067)河南科技大学青年学术带头人基金项目(13490001)洛阳市矿产资源化工重点实验室建设项目(1003016A)
论文发表日期：2018-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：6( 94-98,104 )
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