铈掺杂金刚石薄膜的研究
刘学杰
王宇晨
陆鹏飞
1.内蒙古科技大学 机械工程学院,内蒙古 包头,0140102.内蒙古科技大学 机械工程学院,内蒙古 包头,0140103.内蒙古科技大学 机械工程学院,内蒙古 包头,014010
摘要：采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)系统制备了铈(Ce)掺杂金刚石薄膜.对Ce掺杂金刚石薄膜进行了飞行时间二次离子质谱(TOF-SIMS)和X射线光电子能谱(XPS)的表征.研究结果表明:在金刚石薄膜的深度方向上,Ce元素的质量分数呈现梯度分布,表层中质量分数最大.当Ce掺杂通量分别为30 mL/min、45 mL/min和60 mL/min时,掺杂金刚石薄膜样品中Ce的质量分数分别为0.53％、0.86％和1.34％.
关键词：铈掺杂金刚石薄膜微波等离子体化学气相沉积二次离子质谱X射线光电子能谱
分类号：TB383(工程材料学)TQ163(电热工业、高温制品工业)
资助基金：国家自然科学基金(51562031)国家自然科学基金(61765012)新疆维吾尔自治区自然科学基金(2014MS0516)
论文发表日期：2018-11-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 13-17 )