三维集成微系统散热微通道均温性研究
唐清林
兰欣
李祥瑞
山东大学 能源与动力工程学院,山东 济南,250061
摘要：针对微通道流体流动方向壁温温度梯度较大、热失配应力较大,从而导致三维集成微系统可靠性降低的问题,以数值计算的方式分析在不同流速(0.3～0.7 m/s)下4种热沉结构的均温特性.研究结果表明:混合式微通道热沉(H-MCHS)均温性最好,入口流速Vin=0.3 m/s时,壁温标准差 σ=2.09 K.增加入口流速可改善均温性,流速从0.3 m/s增加到0.7 m/s时,H-MCHS壁温标准差 σ减小50.70％.
关键词：三维集成微系统微通道流动特性强化换热均温性可靠性
分类号：V250(航空用材料)TN406(微电子学、集成电路（IC）)
资助基金：国家自然科学基金(11702160)山东省自然科学基金面上项目(ZR201702170418)
论文发表日期：2020-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：7( 27-33 )