半导体集成电路器件生产废水处理工艺研究与应用
刘新超1
高连敬2
孙勇3
1.同济大学环境科学与工程学院,上海,2000922.同济大学建筑设计研究院,上海,2000923.上海市政工程设计研究院,上海,200092
摘要：针对半导体集成电路器件生产产生的电镀废水、酸碱废水,对流量控制、 pH、药剂投加量、反应搅拌强度进行研究,并提出合理的处理工艺,确保废水处理达标排放.
关键词：半导体集成电路电镀废水酸碱废水pH控制
分类号：X703(一般性问题)
论文发表日期：2005-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 39-41,52 )
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