基于微环谐振器的甲烷传感器
王文清1
王晓璐2
田子建2
1.北京市煤炭矿用机电设备技术开发有限公司,北京,1000422.中国矿业大学(北京)机电与信息工程学院,北京,100083
摘要：提出了一种新型的基于微环谐振器的甲烷传感器.该传感器通过微环表层的穴番A涂层来增加微环的有效折射率,使微环谐振器中谐振波长随甲烷浓度的增加而向右漂移;通过测量输出光信号的谐振波长推算出甲烷浓度.理论分析结果表明,该传感器的谐振波长变化范围在一个自由光谱范围内,甲烷浓度测量范围为0～15％;对比SOI材料和聚合物材料、单面敏感膜和三面敏感膜的测量结果,得出聚合物材料三面敏感膜微环的谐振波长变化幅度较大,测量灵敏度为60 pm.
关键词：甲烷传感器甲烷浓度测量微环谐振器敏感膜
分类号：TD712.55(矿山安全与劳动保护)
资助基金：国家自然科学基金(U1261125)创新团队建设提升计划(IDHT20130511)
论文发表日期：2016-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
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