基于MEMS技术的载体催化甲烷检测元件制作方法
孙世岭
中煤科工集团重庆研究院有限公司,重庆,400039
摘要：在分析载体催化甲烷检测原理的基础上,提出采用先进的微机电系统(Microelectro Mechanical System,MEMS)技术对传统载体催化甲烷检测元件的制作方法进行改进,给出了具体的元件制作流程,并对元件的性能进行了测试.测试结果表明,基于MEMS技术的裁体催化甲烷检测元件较传统载体催化甲烷检测元件在功耗、抗中毒、一致性等方面有明显改善.
关键词：甲烷检测载体催化检测微机电系统MEMS
分类号：TD712.55(矿山安全与劳动保护)
资助基金：重庆市煤监局煤炭发展专项资金资助项目(渝煤[2014]-kj-09)中国煤炭科T集团有限公司科技创新基金面上项目(2014MS025)
论文发表日期：2016-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
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