双层电阻栅SOI应变计的设计及其在煤矿的应用
付东波1
杜涛涛1
沈绍群2
1.天地科技股份有限公司 开采设计事业部,北京,1000132.复旦大学信息科学与工程学院,上海,200433
摘要：设计了一种微熔结构的双层电阻栅SOI应变计,该应变计利用热生长氧化、光刻、刻蚀等工艺方法进行制作,解决了通常SOI应变计体电阻阻值小、易受污染的问题,提高了应变计的精度、绝缘性和工作稳定性.现场试验结果表明,利用该应变计制作的煤矿钻孔应力计测量数据准确,工作稳定可靠,适用于煤岩体应力监测.
关键词：煤炭开采双层电阻栅SOI应变计钻孔应力计
分类号：TD355.4(矿山压力与支护)
资助基金：国家自然科学基金(51304115)中国煤炭科工集团技术创新项目(2013ZD002)天地科技技术创新基金(KJ-2015-TDKC-02)青年创新基金(KJ-2015-TDKC-12)
论文发表日期：2016-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
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