二十一世纪的纳米硅电子技术

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DOI: 10.3969/j.issn.1672-9528.2002.03.011

二十一世纪的纳米硅电子技术

张天明

山东电视台发射台,济南,250062

摘要：装置技术为适应电子市场的需求而发展,纳米硅电子技术伴随着电子信息产业的发展应运而生;本文综述了纳米硅电子技术的产生、现状及未来的发展趋势;并分析了纳米硅电子技术与信息产业发展的关系.

关键词：硅电子纳米信息技术

分类号：TN3(半导体技术)

论文发表日期：2002-01-01

在线出版日期：2026-05-22（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）

页数：2( 13-14 )

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山东电子

ISSN：1672-9528

年,卷(期)：2002,(3)

所属栏目：发展与综述