一种新型光纤加速度传感器的研究
姬茹
山西省新闻出版广电局中波台管理中心 山西太原 030001
摘要：基于光纤加速度传感器高灵敏度、低成本与微型化的市场发展需求,本文采用MEMS技术设计制作了一种新型的高灵敏度光强型加速度传感器,介绍了其工作原理以及测试结果,结果表明该加速度传感器具有良好的线性输出特性,该传感器的灵敏度可达0.9mv/g,线性度可达0.97,展现出了极有发展潜力的优良性能.与传统压电型等高灵敏度加速度传感器相比,该加速度传感器使用纯粹的光信号极大地避免了电磁干扰的影响,且利用MEMS技术制作加工,加工步骤简便,因此易于批量化生产,同时通过优化结构设计该传感器可应用于振动监测、惯性导航等诸多领域.
关键词：光纤加速度传感器
论文发表日期：2018-01-01
在线出版日期：2026-05-22（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 32-35 )
英文信息