磁控阴极溅射靶三维磁场的有限元分析
田立坚1
唐燕1
郝淑荣2
李岩1
1.沈阳工业大学,辽宁,沈阳,11002322.辽宁省水利水电勘测设计院,辽宁,沈阳,110006
摘要：采用有限元方法对磁控阴极溅射靶三维磁场进行了计算和分析.该装置是一种用于玻璃镀膜的永磁装置,主要由永磁体、铁磁材料和不锈钢板组成.为保证靶中不锈钢板表面的磁场均匀分布,进行了多种方案的计算和调整,给出了一种实用方案,使得装置性能得到明显改本文善.
关键词：有限元电磁场永磁装置
分类号：TM153.1(电工基础理论)
论文发表日期：1999-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 136-139 )
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