鉴相技术在金属粗光栅细分中的应用
金喜平
边英杰
梅笑宇
1.沈阳工业大学,辽宁沈阳,1100232.沈阳工业大学,辽宁沈阳,1100233.沈阳工业大学,辽宁沈阳,110023
摘要：针对金属粗光栅波形质量差和节距大的点,提出了一种通过动态位置检测实现的鉴相细分方案,并完成了系统设计.实践证明,该方案解决了高倍细分数与高测量速度之间的矛盾,为金属光栅尺的应用开辟了新思路.
关键词：金属粗光栅动态检测数字鉴相
分类号：TH741.6(仪器、仪表)
资助基金：辽宁省科学基金(962188)
论文发表日期：1999-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：3( 429-431 )
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