直线电机驱动的磁悬浮平台推力动态解耦控制
刘德君1
郭庆鼎2
翁秀华2
1.沈阳工业大学,电气工程学院,沈阳,110023;北华大学,电气工程学院,吉林,吉林,1320212.沈阳工业大学,电气工程学院,沈阳,110023
摘要：介绍一种应用于半导体光刻、微型机械、精密测量、超精密加工、微型装配、纳米技术等领域的新型磁悬浮平台,通过分析其数学模型的特点,采用多变量非线性的逆系统理论,对直线电动机驱动的磁悬浮平台这一多变量、非线性、强耦合的对象通过状态反馈进行推力动态解耦控制,使其成为三个独立的子系统,并用线性理论进行分析和设计.为了改善系统响应的快速性,采用复合控制方案.仿真实验结果表明,这种控制方案有较好的动态和静态特性.
关键词：磁悬浮平台动态解耦控制状态反馈直线电机复合控制
分类号：TM921.541(电气化、电能应用)
论文发表日期：2005-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 43-47 )
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