基于逆控制的直线电机驱动磁悬浮平台推力系统
刘德君1
郭庆鼎2
翁秀华2
1.沈阳工业大学,电气工程学院,沈阳,110023;北华大学,电气工程学院,吉林,吉林,1320212.沈阳工业大学,电气工程学院,沈阳,110023
摘要：介绍一种新型的磁悬浮平台,由于该直线电机驱动的磁悬浮平台的推力系统是一个多变量、非线性、强耦合的对象.为了达到较好的控制效果,应用逆控制算法,对它进行解耦控制,使其成为无耦合的三个子系统.然后根据线性系统理论进行主通道控制器的设计.同时配以速度前馈控制器来改善动态性能.仿真实验结果表明,这种控制方案达到解耦的效果,有良好的动态、静态特性,满足半导体微细加工、电路板制造、微组装系统、高速贴片等高精度定位的场合.
关键词：磁悬浮平台逆控制前馈控制直线电机精密定位
分类号：TM921.541(电气化、电能应用)
资助基金：国家自然科学基金(50070507)
论文发表日期：2005-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 183-186 )
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