金属氮化物硬质膜层"合金化"的研究进展
宋贵宏
靳伟
李锋
陈立佳
1.沈阳工业大学,材料科学与工程学院,沈阳,1100232.沈阳工业大学,材料科学与工程学院,沈阳,1100233.沈阳工业大学,材料科学与工程学院,沈阳,1100234.沈阳工业大学,材料科学与工程学院,沈阳,110023
摘要：通过展示近年来国内外金属氮化物膜层的研究结果,探究了膜层晶体结构、微观组织的变化规律和提高性能的途径;列举了大量文献进行分析.结果表明:添加C或B元素,可形成"替位式"的金属氮碳化物或氮硼化物膜层,具有明显的固溶强化效应;大部分氮硼化物膜层,都可生成细小的金属硼化物,对性能的提高非常有力;加入Si可以细化晶粒,提高膜层的韧性和耐磨性.在TiN和CrN膜层中加入金属合金化元素(如Al、Zr等),除具有明显的固溶强化效应外,还能显著提高膜层的高温氧化阻力和腐蚀阻力,提高膜层的耐磨性.沉积膜层的显微组织结构,可以通过调整"合金化"元素的比率来改变,并由此可以对膜层性能进行调制.通过"合金化",金属氮化物膜层的晶体结构、微观组织都可以调制,综合性能显著改善和提高.
关键词：硬质膜层氮碳化物氮硼化物多元金属氮化物抗氧化性耐磨性
分类号：TB43(工业通用技术与设备)
资助基金：辽宁省科技厅项目(20041022)
论文发表日期：2007-09-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：6( 513-518 )
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