基于局部扫描的实时反馈纳米操作系统
侯静1
袁帅2
许可2
李孟歆3
吴成东4
1.沈阳建筑大学信息与控制工程学院,沈阳110168;东北大学信息科学与工程学院,沈阳1100042.沈阳建筑大学信息与控制工程学院,沈阳110168;中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室,沈阳1100163.沈阳建筑大学信息与控制工程学院,沈阳,1101684.东北大学信息科学与工程学院,沈阳,110004
摘要：由于压电陶瓷机构的非线性及系统温度漂移等因素使AFM探针难以精确定位到被操作物体,从而导致跳针或滑落现象,阻碍了AFM纳米操作的发展.为了解决该问题,提出了基于局部扫描的实时反馈纳米操作系统.系统以样品表面的纳米颗粒作为路标并对其进行持续观测,解决了系统温漂引起的探针定位误差问题,提高了探针的定位精度;在纳米操作过程中采用局部扫描策略,通过对操作后的结果进行快速扫描,实现了实时反馈纳米操作系统.实验结果验证了该纳米操作实时反馈系统在大温漂条件下操作的有效性.
关键词：局部扫描温漂补偿纳米操作实时反馈原子力显微镜路标观测快速扫描有效性
分类号：TN16(真空电子技术)
资助基金：国家自然科学基金(61305125)中国博士后科学基金(2013M530955)中国博士后科学基金(2014T70265)
论文发表日期：2016-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：6( 74-79 )
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