插指电极掩膜的设计与制造
杨丽娥
云南开放大学 机电工程学院,昆明,650500
摘要：针对插指电极制造中所涉及的掩膜制备复杂以及高成本问题,提出了一种插指电极透明掩膜的制造方法.通过AutoCAD软件设计了指形、螺旋形和方形三种不同图案的插指电极,采用透明纸和喷墨打印机将插指电极图案制造成透明掩膜,利用常规光刻技术将透明掩膜上的插指电极图案转移至硅片上的铝金属层,利用高倍显微镜对插指电极图案及插指电极进行观察.通过将本方法应用于太阳能电池,并对太阳能电池的电学特性进行测试,证实了本方法在太阳能电池领域的实用性.
关键词：插指电极透明掩膜光刻光刻胶喷墨打印AutoCAD软件蚀刻太阳能电池
分类号：TN305(半导体技术)
资助基金：云南省教育厅科学研究基金资助项目(2014Y365)
论文发表日期：2017-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：6( 159-164 )
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