Al2O3层厚度对PbZrO3/Al2O3异质结薄膜储能性能的影响
王占杰
于海义
邵岩
王子权
白宇
沈阳工业大学 材料科学与工程学院,辽宁 沈阳 110870
摘要：为了提高Pt/PbZrO3/Pt电介质电容器的储能密度,通过热蒸镀和自然氧化方法在Pt/Ti/SiO2/Si基板上沉积了厚度为0～10nm的Al2O3(AO)层,采用化学溶液沉积法制备PbZrO3 薄膜,研究了Al2O3 层厚度对PbZrO3/Al2O3(PZO/AO)异质结薄膜储能性能的影响.结果表明:随着AO层厚度的增加,PZO/AO异质结薄膜的击穿电场强度逐渐增大,极化-电场电滞回线由反铁电特征转变为铁电特征.当PZO/AO异质结薄膜的AO层厚度为5nm时,储能密度最大值为21.2 J/cm3.
关键词：电介质电容器PbZrO3薄膜Al2O3插层铁电反铁电储能性能热蒸镀化学溶液沉积法
分类号：TB34(工程材料学)
资助基金：国家自然科学基金(51902210)
论文发表日期：2024-01-25
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 72-76 )
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