原子制造过程的可视化与原位检测
李陈
叶茂
尹奎波
徐涛
孙立涛
东南大学 集成电路学院,江苏 南京 210096
摘要：原子制造是指将能量直接作用于原子,对原子进行精准可控去除、增加等操作,从而调控材料结构和性质的技术.为实现原子制造的精准性和可控性,跨尺度的实时观察与检测势在必行.原位透射电子显微技术不仅能在原子尺度下实时研究纳米材料结构与性质之间的关系,而且可以构建原子级器件并实现其性能的原位检测.简要综述了原位透射电子显微技术在纳米/原子精度的加工、器件构建及原位检测方面取得的重要进展,提出了当前原位透射电子显微技术在原子制造过程的可视化与原位检测领域面临的挑战和未来的发展方向.
关键词：原子制造可视化原子尺度加工原位检测原位透射电子显微镜纳米材料实时观察
分类号：TN16(真空电子技术)
资助基金：国家自然科学基金(12234005)国家自然科学基金(T2321002)
论文发表日期：2024-09-25
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：8( 702-709 )
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