基于离子蚀刻技术实现石英晶振的频率微调
陈强
苏州大学电子信息学院,江苏苏州,215021
摘要：近年来随着机器的小型化、成本的降低,各石英晶振生产企业不断追求生产效率的提高以及精度的提高.在石英晶振生产过程中,目标频率的微调较大程度影响着石英晶振的精度.应用石英晶振的原理,基于蚀刻技术实现石英晶振的频率微调,从而提高石英晶振的精度.
关键词：石英晶振离子蚀刻频率微调
分类号：TB123(工程基础科学)
论文发表日期：2011-07-02
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：3( 34-36 )
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