激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅及粉体光谱特性研究
王锐1
李道火1
黄永攀1
罗丽明2
浦坦2
1.中国科学院安徽光学精密机械研究所,安徽,合肥,230031;山东道钬纳米技术研究院,山东,济南,2501002.中国科学院安徽光学精密机械研究所,安徽,合肥,230031
摘要：研究了激光诱导化学气相沉积法制备纳米氮化硅的工作原理,提出了减少游离硅的措施,利用双光束激发制备得到了超微的、非晶纳米氮化硅粉体.实验证明,纳米氮化硅粉体具有很多奇异物理性能和光谱特性.
关键词：激光诱导化学气相沉积法氮化硅纳米粉体红外吸收光谱拉曼光谱
分类号：TB383(工程材料学)
论文发表日期：2003-07-02
在线出版日期：2026-05-22（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 35-38 )
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