石英管上SnO2薄膜面功率密度的优化工艺
纪雄
乌兰察布职业学院,机电技术系,内蒙古,乌兰察布,012000
摘要：利用化学喷涂工艺在石英管材上制作SnO2薄膜,成膜时在石英管表面和SnO2薄膜的界面上形成Si扩散层,随着成膜时间、固化温度的改变,Si扩散层的厚度不同,直接影响薄膜电阻率的改变,严重制约着薄膜面功率密度的改善.通过对形成Si扩散机理的3个阶段的分析,找出了Si扩散的主要因素,提出了5项防止Si扩散的控制措施,对批量生产和提高薄膜面功率密度有一定的参考作用.
关键词：石英管SnO2薄膜面功率密度
分类号：TM241.2(电工材料)
论文发表日期：2008-01-01
在线出版日期：2026-05-22（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：3( 30-32 )
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