电子级高纯超细结晶型硅微粉的制备
蒋述兴
王秋红
1.桂林工学院,有色金属及材料加工新技术教育部重点实验室,广西,桂林,5410042.桂林工学院,有色金属及材料加工新技术教育部重点实验室,广西,桂林,541004
摘要：用钇稳定氧化锆球为研磨介质,用研磨筒内壁和搅拌器都衬以聚氨酯的搅拌磨制备了电子级高纯超细环氧塑封料用石英微粉,研究了石英微粉特征参数d50随搅拌粉磨时间延长的变化规律,考察了钇稳定氧化锆球对石英微粉的污染大小,分析和探讨了1 μm以下超细石英微粉的化学成分和形貌特征.实验证明,用该搅拌磨磨细石英砂可获得1 μm以下、SiO2的质量分数达到99.91%的高纯超细石英微粉,但难以获得球形石英微粉.
关键词：搅拌磨石英微粉环氧塑封料
分类号：TB383(工程材料学)
资助基金：广西自然科学基金(0639061)
论文发表日期：2009-07-02
在线出版日期：2026-05-22（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 36-39 )
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