沉积法制备纳米TiO2薄膜
谢洪勇
马长文
邴乃慈
孙志国
1.上海第二工业大学城市建设与环境工程学院,上海,2012092.上海第二工业大学城市建设与环境工程学院,上海,2012093.上海第二工业大学城市建设与环境工程学院,上海,2012094.上海第二工业大学城市建设与环境工程学院,上海,201209
摘要：利用TiO2胶体在石英玻璃表面沉积制备TiO2薄膜,用分光光度计测量TiO2薄膜的吸光度,研究沉积时间、TiO2胶体浓度、镀膜次数对TiO2薄膜的沉积吸附过程和等效膜厚的影响,讨论纳米TiO2沉积吸附的类型.结果表明,最大等效膜厚随着TiO2胶体浓度的增大而增加；最佳镀膜次数与TiO2胶体浓度无关,随着沉积时间的延长而减少；用气体吸附的B.E.T.和Langmuir吸附理论分析的纳米TiO2在石英玻璃上的沉积过程与实验结果相符.
关键词：纳米TiO2沉降法薄膜等效膜厚沉积模型
分类号：O648.1(物理化学（理论化学）、化学物理学)
资助基金：上海市教委创新项目(07ZZ180)上海市教委重点学科建设项目(J51803)
论文发表日期：2013-01-01
在线出版日期：2026-05-22（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 14-17 )
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