纳米颗粒的粒径测量方法
邢化朝1
刘俊杰2
许潇2
魏伟胜1
范燕1
马一博1
1.中国石油大学(北京)化学工程学院,北京,1022492.中国计量科学研究院纳米新材料计量研究所,北京,100029
摘要：为了实现扫描电子显微镜(SEM)对纳米颗粒粒径的准确测量,研究了一种SEM放大倍数校准和光栅间距测量的方法;在SEM的不同放大倍数下对光栅纳米结构样板成像,运用MATLAB软件对显微镜图像进行灰度处理并读取灰度图像的亮度值数据,通过确定顶线、基线、底线位置,有效消除成像质量及数据处理等的误差,准确确定质心横坐标,采用质心算法求取平均光栅间距,通过与光栅间距标称值比较计算校准系数和校准误差;为验证放大倍率校准结果的可靠性,对纳米颗粒粒度标准物质进行测量.实际测量的平均粒径与标准值一致,表明该校准方法准确可靠,可有效避免图像质量和人为因素对测量结果的影响,达到对纳米和亚微米颗粒粒径准确测量的目的.
关键词：扫描电子显微镜放大倍率校准质心法颗粒粒径
分类号：TB99(计量学)
资助基金：国家科技支撑计划(2011BAK15B05)
论文发表日期：2016-01-01
在线出版日期：2026-05-22（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
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