低气压无极放电灯中的E-H放电模式转变和迟滞现象
王强
刘跃群
1.复旦大学电光源研究所,上海,2004332.复旦大学电光源研究所,上海,200433
摘要：低气压无极放电灯是低气压电感耦合等离子体(ICP)在最近十几年发展起来的新的应用领域.分析ICP放电中E-H放电模式的转变过程,解释了模式跳变和迟滞现象的原因.
关键词：电感耦合等离子体容性耦合放电感应耦合放电E-模式放电H-模式放电迟滞现象无极放电
分类号：TM923(电气化、电能应用)
论文发表日期：2003-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：5( 6-10 )