LED用蓝宝石晶体衬底激光划片工艺
郭琛
肖娜
1.武汉东隆科技有限公司,武汉,4300742.武汉东隆科技有限公司,武汉,430074
摘要：本文对采用355nm和266nm波长激光在不同参数下切割蓝宝石衬底的效果进行比较,对如何取得好的切割效果和表面质量进行研究,实验结果表明266nm激光更加适合进行蓝宝石衬底的切割,并且给出了获得更好的加工后表面质量的方法.
关键词：蓝宝石衬底激光划片精密切割LED衬底加工
论文发表日期：2010-01-01
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：4( 26-29 )
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