通孔电极对正装LED光电性能影响的研究
戴泽毫1
陈斯盼1
温俊杰2
陈仁1
梁宏辉1
周兰君1
李进2
梁晓东1
魏美霞1
1.佛山科学技术学院物理与光电工程学院,广东 佛山528000;佛山科学技术学院粤港澳智能微纳光电技术联合实验室,广东 佛山5280002.佛山市国星半导体技术有限公司,广东 佛山528000
摘要：传统LED的电极为圆环电极加电流扩展线,需要刻蚀部分有源层,减少发光面积,导致LED芯片亮度降低.本文采用光刻刻蚀法在电流拓展层表面制作3个及以上的电极通孔,使连续的电流扩展线变成不连续的电极孔洞,从而在理论上提高发光效率.通过高温加速老化试验,测试通孔电极结构的LED芯片发光效率、光衰等光电性能参数,并通过发光分布测试通孔电极对电流拓展能力的改变.结果表明,优化电极结构后LED总体亮度水平可提升4％～6％,且电流拓展能力增强,光衰减少,芯片寿命提高,可直接减少工艺步骤,单片节约工艺流程时间约9 h,提高生产效率.
关键词：正装LED电流拓展线通孔电极发光效率光衰
分类号：TM923.34(电气化、电能应用)
资助基金：粤港澳智能微纳光电技术联合实验室(2020B1212030010)佛山市科技局项目(FS0AA-KJ819-4901-004)佛山科学技术学院实验室开放创新基金(KFCX2021-B137)佛山科学技术学院学生学术基金立项项目(xsjj202105zrb10)
论文发表日期：2021-06-25
在线出版日期：2025-08-15（本平台首次上网日期，不代表文献的发表时间）
页数：8( 11-18 )
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